Sfere PSL 47 nm, volum flacon de 50 ml margele de polistiren latex

Surf-Cal, Standarde de mărime a particulelor, volum 50ml, amestecat în prealabil la 1x10E10 Concentrație / ml

SURF-CAL™ Particle Size Standards used in size calibration and monitoring of Scanning Surface Inspection Systems (SSIS). Particle sizes below correspond to the calibration particle sizes required by instrument manufacturers. You should complete periodic calibration checks and weekly size and count monitoring to ensure your wafer inspection scanner compares with scanners at other locations. All polystyrene microspheres are suspended in deionized, filtered water in 50mL bottle volume at a concentration of 3 × 10 E8 or 1 × 10 E10 particles per mL. Sizes noted with * are similar to NIST SRM particles at that diameter. Refractive Index is 1.59 @ 589nm (25C) for all polystyrene microspheres below. Each bottle is stable for 12 months and is packaged with a Certificate of Calibration and Traceability to NIST.

By depositing SURF-CAL, NIST traceable PSL (polystyrene latex) spheres on bare silicon and pattern wafers, you can perform periodic size calibration checks on your KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS tools and compare your wafer inspection scanner with scanners at other locations. You can also assess the performance of your SSIS at critical stages in the manufacturing process. All products are suspended in deionized, filtered water (DI water) in 50 mL bottles at a concentration of 3 x10 e10 particles/mL or 1 x10 e10 particles/mL. These Surf-Cal particle size standards are polystyrene microspheres that have been sized by Differential Mobility Analyzer (DMA) or other size exclusionary techniques.

Categorie: Etichete: , , , , , , , , , ,

Număr parte

Concentration Count/ml

Diametrul particulelor

Distribuția mărimii

 Price per 50 ml Bottle
APPD-047 3 x 108 particule/ml 0.047 μm 0.004μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
APPD-047B 1 x 1010 particule/ml 0.047 μm 0.004μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
APPD-064 3 x 108 particule/ml 0.064 μm 0.003μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
APPD-064B 1 x 1010 particule/ml 0.064 μm 0.003μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
APPD-083 3 x 108 particule/ml 0.083 μm 0.004μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-083B 1 x 1010 particule/ml 0.083 μm 0.004μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-092 3 x 108 particule/ml 0.092 μm 0.004μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-092B 1 x 1010 particule/ml 0.092 μm 0.004μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-100 3 x 108 particule/ml 0.100 μm 0.003μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-100B 1 x 1010 particule/ml 0.100 μm 0.003μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-125 3 x 108 particule/ml 0.126 μm 0.003μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-125B 1 x 1010 particule/ml 0.126 μm 0.003μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-155 3 x 108 particule/ml 0.155 μm 0.003μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-155B 1 x 1010 particule/ml 0.155 μm 0.003μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-200 3 x 108 particule/ml 0.202 μm 0.004μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-200B 1 x 1010 particule/ml 0.202 μm 0.004μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-204 3 x 108 particule/ml 0.204 μm 0.004μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-204B 1 x 1010 particule/ml 0.204 μm 0.004μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-215 3 x 108 particule/ml 0.220 μm 0.003μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-215B 1 x 1010 particule/ml 0.220 μm 0.003μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-305 3 x 108 particule/ml 0.304 μm 0.004μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-305B 1 x 1010 particule/ml 0.304 μm 0.004μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-365 3 x 108 particule/ml 0.360 μm 0.005μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-365B 1 x 1010 particule/ml 0.360 μm 0.005μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-500 3 x 108 particule/ml 0.498 μm 0.006μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-500B 1 x 1010 particule/ml 0.498 μm 0.006μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-800 3 x 108 particule/ml 0.809 μm 0.006μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-800B 1 x 1010 particule/ml 0.809 μm 0.006μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-802 3 x 108 particule/ml 0.802 μm 0.009μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-802B 1 x 1010 particule/ml 0.802 μm 0.009μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD1100 3 x 108 particule/ml 1.112 μm 0.011μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD1100B 1 x 1010 particule/ml 1.112 μm 0.011μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD1600 3 x 108 particule/ml 1.59 μm 0.016μm $ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD2000 3 x 108 particule/ml 2.01 μm 0.019μm $ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD3000 3 x 108 particule/ml 3.04 μm 0.026μm $ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ

Metodologie de măsurare:

Pentru a asigura trasabilitatea NIST, diametrele certificate ale acestor produse au fost transferate prin microscopie electronică sau optică de transmisie din materiale de referință standard NIST (2). Incertitudinea a fost calculată utilizând Nota tehnică NIST 1297, Ediția 1994 „Linii directoare pentru evaluarea și exprimarea incertitudinii rezultatelor măsurătorilor NIST” (4). Incertitudinea listată este incertitudinea extinsă cu un factor de acoperire de doi (K=2). Diametrul vârfului a fost calculat folosind aproximativ intervalul de ± 2s al distribuției mărimii particulelor. Distribuția dimensiunilor a fost calculată ca deviația standard (SDS) a întregului vârf. Coeficientul de variație (CV) este o abatere standard exprimată ca procent din diametrul vârfului. Distribuția FWHM (lățimea completă la jumătatea maximă) a fost calculată ca distribuție la jumătate din înălțimea vârfului exprimată ca procent din diametrul vârfului.

1. „Foaia de parcurs tehnologică națională pentru semiconductori”, Asociația Industriei Semiconductorilor (1999)

2. SD Duke și EB Layendecker, „Internal Standard Method for Size Calibration of Sub-Micron Spherical Particles by Electron Microscopy”, Fine Particle Society (1988)

3. SEMI M52 - Ghid pentru specificarea sistemelor de inspecție a suprafeței pentru napolitane Silicon generația de tehnologie 130 nm.

4. Barry N. Taylor și Chris E. Kuyatt, „Orientări pentru evaluarea și exprimarea incertitudinii rezultatelor măsurătorilor NIST”. Notă tehnică NIST 1297, ediția 1994, septembrie 1994.

Produse asemănătoare

Traduceți "