produsele de căutare
Categorii de produse

Material de referință standard NIST Calibrarea mărimii particulelor

NIST, material de referință standard, microsfere și perle de polistiren utilizate în standardele de calibrare și contaminare pentru plachete pentru a verifica acuratețea dimensiunilor sistemelor de inspecție a plachetelor KLA și KLA-Tencor.

Descriere

 

NIST SRM, Standarde de mărime a particulelor, sfere PSL, calibrarea mărimii

Standardele de mărime a particulelor NIST SRM sunt standardele de calibrare cunoscute în întreaga lume pentru a fi utilizate cu orice aplicație care necesită un standard de mărime NIST SRM (material de referință de mărime) cu dimensionare extrem de precisă, vârfuri de dimensiuni înguste și abatere standard îngustă. Ele pot fi utilizate pentru calibrarea și validarea unei varietăți de echipamente de dimensionare a particulelor, inclusiv instrumente de împrăștiere a luminii, microscopuri electronice și analizoare de mobilitate diferențială. Sunt deosebit de critice pentru calibrarea sistemelor de inspecție de scanare a suprafeței, care sunt utilizate pentru a detecta și a caracteriza defectele de pe napolitane de siliciu. Particule precise de referință sunt necesare pentru a dezvolta și avansa sistemele de scanare pentru producția de plafon cu un randament ridicat și rentabil, care este crucial pentru miniaturizarea dispozitivului. Particulele de referință pot fi, de asemenea, utilizate pentru furnizarea de particule mono-dispersate (vârf de mărime unică) pentru testarea instrumentelor de aerosoli și sunt utile pentru examinarea cineticii aerosolului și pentru evaluarea răspunsului detectorului de particule.

Valoarea certificată pentru diametrul modal:

60 nm SRM 1964 microsfere de polistiren este de 60.39 nm, cu o incertitudine extinsă de ± 0.63 nm;

100 nm SRM 1963A microsfere de polistiren este de 101.8 nm, cu o incertitudine extinsă de ± 1.1 nm;

269 nm SRM 1691 microsfere de polistiren este de 269 nm, cu o incertitudine extinsă de ± 4 nm;

895 nm SRM 1690 microsfere de polistiren este de 895 nm, cu o incertitudine extinsă de ± 5 nm.

Măsurătorile s-au efectuat folosind analiza de mobilitate diferențială și sunt urmărite până la lungimea de undă a laserului He-Ne în aer, 632.807 nm, care a fost determinată în raport cu standardul fundamental pentru lungime.

Microsfere de latex de polistiren, 20-900 nm, particule de latex de polistiren Cumpară acum

Microsfere de latex de polistiren, 1um-160um, particule de latex de polistiren Cumpară acum

Diametrele sferice sunt calibrate cu dimensiuni liniare calculate de NIST. Sferele sunt utilizate în loc de particule cu formă neregulată pentru a minimiza răspunsul scanerelor laser care sunt sensibile la particulele cu formă. Standardele sunt ambalate sub formă de suspensii apoase în sticle cu vârf de picătură 5 mililitri (mL). Concentrațiile de particule sunt optimizate pentru a facilita dispersia și stabilitatea coloidală. Sferele au o densitate de 1.05 g / cm3 și un indice de refracție a 1.59 @ 589 nm, măsurat la 25 grade centigrade.

Fiecare pachet conține un certificat de calibrare și trasabilitate la NIST care include o descriere a metodei de calibrare și incertitudinea acesteia și un tabel cu proprietățile chimice și fizice. De asemenea, este disponibilă o fișă tehnică de securitate a materialelor, cu instrucțiuni de manipulare și eliminare. Sticlele PSL sunt numerotate pentru o asistență tehnică convenabilă și asistență după vânzare.

SISTEME NIST SRM 60.4nm, 101.8nm, 269nm și 895nm
Compoziția particulelor Latex polistiren, sfere PSL
Densitatea particulelor 0.625 g / cm³
Index de refracție 1.59 @ 589nm (25 ° C)
Sticla Dimensiune 5 mL
Dată de expirare ≤ 24 luni
aditivi Conține urme de surfactant
Temp. De depozitare recomandat 2-8 ° C
Mărimea și volumul sticlei Flacon 5ml
Sfere PSL, NIST SRM, 60.4nm, 101.8nm, 269nm, 895nm

Cod produs

Diametru nominal

Vârful mediu certificat

Std. Dev & CV

Conținut solid

AP1690   

 895 nm

895nm ± 5 nm

 0.7 nm

0.50%

AP1691   

 269 nm

269nm ± 4 nm

 5.3 nm

0.50%

AP1963A   

 101.8 nm

101.8nm ± 1.1 nm

 0.55 nm

0.50%

AP1964   

 60.4 nm

60.39nm ± 0.63 nm

0.31 nm

0.50%

Traduceți "