Applied Physics Statele Unite ale Americii
Mărgelele din latex din polistiren, Standarde de mărime a particulelor
Applied Physics SUA: sfere PSL, micro-sfere de polistiren, standarde de dimensiunea particulelor
Applied Physics SUA furnizează sfere PSL și margele de polistiren ca standarde de dimensiunea particulelor pentru calibrarea instrumentelor de aerosoli. Uneltele de inspecție a plachetelor, cum ar fi KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2, TopCon, ADE și Hitachi necesită, de asemenea, calibrarea dimensiunilor, care se realizează prin utilizarea sferelor de latex de polistiren. Sferele PSL, microsferele și margelele din polistiren, sunt furnizate în dimensiuni de la 20 nm la 10 microni pentru a calibra curbele de răspuns la dimensiunea sistemelor respective de inspecție a plachetelor și contoarelor de particule laser. Sferele PSL de la 20 nm la aproximativ 5 microni sunt utilizate în mod obișnuit pentru a calibra răspunsul la dimensiunea contoarelor de particule laser. Microsferele din polistiren pot fi folosite pentru a produce standarde de calibrare pentru napolitane și standarde pentru napolitane de particule, care sunt utilizate pentru a calibra răspunsul la dimensiunea instrumentelor KLA-Tencor Surfscan și a instrumentelor mai vechi Tencor Surfscan.
Applied Physics Statele Unite ale Americii
Margele din latex din polistiren pot fi comandate telefonic Applied Physics la (719) 428-4042.
Sistemele de inspecție a plachetelor, denumite sisteme de inspecție a suprafeței de scanare, SSIS, în special de la KLA-Tencor și Hitachi, sunt calibrate folosind standardele PSL Wafer, care sunt plachete Prime Silicon depuse cu sfere PSL la dimensiuni specifice și distribuție îngustă a dimensiunilor. Instrumentele de inspecție a napolitanelor sunt utilizate pentru a inspecta curățenia suprafețelor de napolitană de 300 mm, 200 mm, 150 mm; siliciu gol sau film depus, suprafața plachetei. SSIS poate identifica locația X/Y a sferelor și particulelor PSL, poate descrie dimensiunea fiecărui defect și poate rezuma un număr total de particule de pe suprafața plachetei. Sistemele de inspecție a plachetelor KLA-Tencor, cum ar fi Tencor 6200, 6420 și KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2 și KLA-Tencor SP3, sunt utilizate în toată industria semiconductoarelor pentru această aplicație. Topcon are sistemele de inspecție pentru wafer seriile 3000, 5000 și 7000. Estek, ADE, Aeronca și Hitachi oferă, de asemenea, o varietate de sisteme de inspecție a napolitanelor. Aproape fiecare SSIS produs astăzi este acum capabil să detecteze sensibilitatea la dimensiunea particulelor de 30 nm sau mai bună. Sferele PSL sunt folosite pentru a reprezenta standardele de dimensiunea particulelor de pe suprafața plachetei. Applied Physics oferă dimensiuni PSL Sphere de la 20 nm la 160 microni pentru calibrarea dimensiunilor, teste de filtru HEPA etc. Sferele PSL pot fi comandate sunând Applied Physics la (719) 428-4042.
Sferele PSL sunt utilizate cu sisteme de depunere a waferului PSL pentru a produce standarde de wafer PSL, denumite și standarde de wafer de particule. În ambele cazuri, după ce standardul PSL Wafer este produs, acesta este apoi plasat pe un sistem de inspecție a waferului și scanat de un singur laser SSIS sau dual laser SSIS. Răspunsul efectiv al mărimii PSL este comparat cu răspunsul la mărimea SSIS. Dacă cele două vârfuri nu se potrivesc, SSIS trebuie calibrat. Sferele PSL cu concentrație ridicată sunt amestecate pentru sisteme 2300XP1, sisteme 2300 NPT-1, 2300NPT-2 și M2300G3.
Sfere PSL, concentrație de 1%.
Sferele PSL pre-amestecate vin într-o sticlă 50ml, mono-dispersate ca mărime (distribuție de mărime 1) și sunt furnizate de la aproximativ 47nm până la 950nm în dimensiune. Această soluție PSL este turnată direct în vasul de nebulizator sau atomizor. Pre-amestecat este un mod convenabil de achiziționare a perlelor de latex din polistiren, deoarece toată diluarea a fost realizată într-o manieră foarte uniformă, fără bătaie, fără tam-tam, permițând utilizatorului să nu se ocupe de amestecarea perlelor de latex din polistiren folosind pahare, apă DI și tăvi cu ultrasunete. Materialul PSL ne-amestecat este furnizat într-un flacon 15ml, mono-dispersat în dimensiune (distribuție de mărime 1) și, de obicei, într-o concentrație de 1%. Aceste sfere PSL sunt furnizate într-o gamă largă de dimensiuni, dar pentru scopurile noastre, de la dimensiunea 20nm până la 4um. Materialul PSL trebuie amestecat cu diluarea corespunzătoare sau va fi concentrat sau prea slab pentru a oferi rezultate eficiente atunci când încercați să depuneți unul dintre sistemele de depunere Wafer PSL de mai sus. Clean Room Foggers Link
