produsele de căutare
Categorii de produse
Sfere PSL 47 nm, volum flacon de 50 ml margele de polistiren latex

Surf-Cal, standarde de dimensiunea particulelor, volum 50 ml, pre-amestecat la 1x10E8 și 1x10E10 concentrație / ml

Standardele de dimensiune a particulelor SURF-CAL™ utilizate în calibrarea dimensiunilor și monitorizarea sistemelor de inspecție a suprafețelor de scanare (SSIS). Dimensiunile particulelor de mai jos corespund dimensiunilor de calibrare ale particulelor cerute de producătorii de instrumente. Ar trebui să efectuați verificări periodice de calibrare și monitorizarea săptămânală a dimensiunii și numărului pentru a vă asigura că scanerul dvs. de inspecție a plăcilor se compară cu scanerele din alte locații. Toate microsferele de polistiren sunt suspendate în apă deionizată, filtrată, într-un volum de sticlă de 50 ml, la o concentrație de 3 × 10 E8 sau 1 × 10 E10 particule per ml. Dimensiunile notate cu * sunt similare cu particulele NIST SRM la acel diametru. Indicele de refracție este de 1.59 @ 589 nm (25C) pentru toate microsferele de polistiren de mai jos. Fiecare sticlă este stabilă timp de 12 luni și este ambalată cu un certificat de calibrare și trasabilitate la NIST.

Prin depunerea de sfere PSL (latex de polistiren) trasabile SURF-CAL, NIST pe plăci de siliciu goale și modele, puteți efectua verificări periodice de calibrare a dimensiunii instrumentelor KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS și puteți compara scanerul dvs. de inspecție pentru plachete cu scanerele de la alte locații. De asemenea, puteți evalua performanța SSIS în etapele critice ale procesului de producție. Toate produsele sunt suspendate în apă deionizată, filtrată (apă DI) în sticle de 50 ml la o concentrație de 3 x10 e10 particule/ml sau 1 x10 e10 particule/ml. Aceste standarde de dimensiunea particulelor Surf-Cal sunt microsfere de polistiren care au fost dimensionate prin Analizor de mobilitate diferențială (DMA) sau alte tehnici de excludere a dimensiunii.

Categorie: Etichete: , , , , , , , , , , , ,

Număr parte

Concentrație/ml

Diametrul particulelor

Distribuția mărimii

 Pret pe sticla de 50 ml
APPD-047 3 x 108 particule/ml 0.047 μm 0.004μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
APPD-047B 1 x 1010 particule/ml 0.047 μm 0.004μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
APPD-064 3 x 108 particule/ml 0.064 μm 0.003μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
APPD-064B 1 x 1010 particule/ml 0.064 μm 0.003μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
APPD-083 3 x 108 particule/ml 0.083 μm 0.004μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-083B 1 x 1010 particule/ml 0.083 μm 0.004μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-092 3 x 108 particule/ml 0.092 μm 0.004μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-092B 1 x 1010 particule/ml 0.092 μm 0.004μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-100* 3 x 108 particule/ml 0.100 μm 0.003μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-100B* 1 x 1010 particule/ml 0.100 μm 0.003μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-125 3 x 108 particule/ml 0.126 μm 0.003μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-125B 1 x 1010 particule/ml 0.126 μm 0.003μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-155 3 x 108 particule/ml 0.155 μm 0.003μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-155B 1 x 1010 particule/ml 0.155 μm 0.003μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-200 3 x 108 particule/ml 0.202 μm 0.004μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-200B 1 x 1010 particule/ml 0.202 μm 0.004μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-204 3 x 108 particule/ml 0.204 μm 0.004μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-204B 1 x 1010 particule/ml 0.204 μm 0.004μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-215 3 x 108 particule/ml 0.220 μm 0.003μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-215B 1 x 1010 particule/ml 0.220 μm 0.003μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-305 3 x 108 particule/ml 0.304 μm 0.004μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-305B 1 x 1010 particule/ml 0.304 μm 0.004μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-365 3 x 108 particule/ml 0.360 μm 0.005μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-365B 1 x 1010 particule/ml 0.360 μm 0.005μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-500 3 x 108 particule/ml 0.498 μm 0.006μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-500B 1 x 1010 particule/ml 0.498 μm 0.006μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-800 3 x 108 particule/ml 0.809 μm 0.006μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-800B 1 x 1010 particule/ml 0.809 μm 0.006μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-802 3 x 108 particule/ml 0.802 μm 0.009μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD-802B 1 x 1010 particule/ml 0.802 μm 0.009μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD1100 3 x 108 particule/ml 1.112 μm 0.011μm

$ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD1100B 1 x 1010 particule/ml 1.112 μm 0.011μm

$ 1495.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD1600 3 x 108 particule/ml 1.59 μm 0.016μm $ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD2000 3 x 108 particule/ml 2.01 μm 0.019μm $ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ
AP PD3000 3 x 108 particule/ml 3.04 μm 0.026μm $ 295.00   ADAUGĂ ÎN COȘ

Metodologie de măsurare:

Pentru a asigura trasabilitatea NIST, diametrele certificate ale acestor produse au fost transferate prin microscopie electronică sau optică de transmisie din materiale de referință standard NIST (2). Incertitudinea a fost calculată utilizând Nota tehnică NIST 1297, Ediția 1994 „Linii directoare pentru evaluarea și exprimarea incertitudinii rezultatelor măsurătorilor NIST” (4). Incertitudinea listată este incertitudinea extinsă cu un factor de acoperire de doi (K=2). Diametrul vârfului a fost calculat folosind aproximativ intervalul de ± 2s al distribuției mărimii particulelor. Distribuția dimensiunilor a fost calculată ca deviația standard (SDS) a întregului vârf. Coeficientul de variație (CV) este o abatere standard exprimată ca procent din diametrul vârfului. Distribuția FWHM (lățimea completă la jumătatea maximă) a fost calculată ca distribuție la jumătate din înălțimea vârfului exprimată ca procent din diametrul vârfului.

1. „Foaia de parcurs tehnologică națională pentru semiconductori”, Asociația Industriei Semiconductorilor (1999)

2. SD Duke și EB Layendecker, „Internal Standard Method for Size Calibration of Sub-Micron Spherical Particles by Electron Microscopy”, Fine Particle Society (1988)

3. SEMI M52 - Ghid pentru specificarea sistemelor de inspecție a suprafeței pentru napolitane Silicon generația de tehnologie 130 nm.

4. Barry N. Taylor și Chris E. Kuyatt, „Orientări pentru evaluarea și exprimarea incertitudinii rezultatelor măsurătorilor NIST”. Notă tehnică NIST 1297, ediția 1994, septembrie 1994.

Produse asemănătoare

Traduceți "